KRISS, 반도체 공정 실시간 모니터링할 비접촉식 유량센서 개발
한국표준과학연구원(KRISS, 원장 박현민)이 반도체 공정에 쓰이는 에폭시 수지를 실시간으로
측정할 수 있는 비접촉식 유량센서를 개발했다. 공정을 멈추지 않고도 디스펜서에서 토출되는 양을 정확히
모니터링 가능해 반도체 수율 향상에 기여할 수 있다.
▲ (좌측부터) KRISS 유량측정팀 임성혁 선임연구원, 이석환 선임연구원, 강웅 책임연구원
전자제품
제조 공정 전반에 쓰이는 디스펜서는 에폭시 수지 등을 분사하는 역할을 한다. 에폭시 수지는 점성이 높고
굳는 성질이 있어 주로 휴대폰...